Pemprosesan bahagian ketepatan tidak dapat menyelesaikan semua kandungan pemprosesan semua permukaan dalam satu proses. Keseluruhan proses pemesinan pemprosesan bahagian ketepatan boleh dibahagikan kepada peringkat berikut:
(1) Tahap kasar. Kebanyakan elektrod pemesinan dikeluarkan dari setiap permukaan mesin, dan rujukan yang baik dibuat. Pertimbangan utama adalah untuk meningkatkan produktiviti sebanyak mungkin.
(2) peringkat separuh akhir. Pembuangan kecacatan yang mungkin berlaku selepas pemesinan kasar menyiapkan permukaan untuk pemesinan selesai, memerlukan tahap ketepatan pemesinan tertentu, menjamin elaun penamat yang sesuai, dan menyelesaikan pemesinan permukaan sekunder pada masa yang sama.
(3) menamatkan pentas. Pada peringkat ini, kelajuan pemotongan besar, kadar suapan kecil, dan kedalaman pemotongan digunakan untuk menghapuskan elaun kemasan yang ditinggalkan oleh proses terdahulu, supaya permukaan bahagian mencapai keperluan teknikal corak.
(4) menamatkan pentas. Ia digunakan terutamanya untuk mengurangkan nilai kekasaran permukaan atau menguatkan permukaan mesin. Ia digunakan terutamanya untuk pemprosesan permukaan dengan kekasaran permukaan tinggi (ra≤0.32 μm).
(6) Tahap pemprosesan ultra-ketepatan. Ketepatan pemprosesan adalah 0.1-0.01μm dan nilai kekasaran permukaan adalah ra ≤ 0.001μm. Kaedah pemprosesan utama adalah: pemotongan ketepatan, ketepatan cermin pengisaran, ketepatan pengisaran dan penggilap, dan sebagainya.